Next generation inspection Technology
Probe Station
프로브 스테이션
초미세 소자 전기검사 기술
MicroLED Probe Station
NANO-X는 프로브 카드뿐 아니라 초정밀 소자 전용의
높은 정밀도 및 측정속도를 가지는 전용 프로브 스테이션을 개발하여
프로브 카드/스테이션의 모든 제품에 대한 수요처 대응이 가능합니다.
정밀하면서도 빠른 측정 속도
정밀도
측정속도 ¹
NANO-X는 다년간의 자동화 장비 제작 기술을 통하여 점차 작아지고 있는 초미세 소자 및 패드의 크기에 대응하기 위하여 1um 이내의 측정 정밀도를 구현하였습니다.
NANO-X는 512 채널 이상의 멀티 컨택이 가능한 프로브 스테이션으로 정밀도를 유지하면서도 초당 3,200개 이상의 측정 속도를 가져 기존 MicroLED 검사 장비의 측정 속도 대비 압도적인 측정 속도를 가집니다.
1) MicroLED용 프로브카드 512ch(채널)을 기준으로 측정
검증된 신뢰도
프로브 마크 평가
오버드라이브 10-20µm 이내에서프로브니들의 접촉 마크의 크기와 위치가 안정권
반복 측정 후 LED 소자의 영향 평가
동일 소자에 대하여 1,000회 반복 측정 이후에도Vf1값이 1.900V 수준을 유지하며 성능 저하가 없음을 증명
프로브 카드 수명 평가
1백만 번 측정 이후에도 프로브 카드 전압 측정값이0.05V 이하를 만족하며, 핀의 마모값이 측정오차 이내
경기도 수원시 권선구 산업로 190, 나노엑스
031-278-6473 / jin@nanoex.co.kr
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